Una delle caratteristiche importanti dei laser a gas è che il mezzo laser è una miscela di gas o un singolo gas puro. Pertanto, esistono requisiti speciali per la purezza dei componenti della miscela di gas laser e anche i cilindri di acciaio utilizzati per confezionare la miscela di gas devono essere asciugati prima del riempimento per evitare la contaminazione della miscela di gas. Se il laser elio-neon è considerato la prima generazione di laser a gas, il laser ad anidride carbonica è la seconda generazione di laser a gas, il laser KrF, ampiamente utilizzato nella produzione di semiconduttori, può essere definito la terza generazione di laser.
