Introduzione del gas
L'etilsilano è un composto inorganico con la formula chimica Si2H6. È un gas incolore, trasparente e tossico con un odore sgradevole e irritante a temperatura e pressione ambiente. Ha proprietà chimiche simili al silano, ma la sua reattività è più forte del silano. È più instabile del silano e si decompone lentamente in silano e idrogeno a temperatura ambiente. Si decompongono in SiH4, SinHm, H2 a 300-500 ℃ e si decompongono anche alla luce. Utilizzato principalmente in celle solari, tubi rotanti fotosensibili, film di silicio amorfo, crescita epitassiale, film di ossido, film di nitruro, deposizione di vapori chimici e altri aspetti.
Proprietà di base
L'etilsilano è un liquido trasparente incolore che si accende spontaneamente nell'aria, con un punto di accensione al di sotto della temperatura ambiente. Quando incontra l'aria, brucia immediatamente e si decompone in SiH4 e H2. L'intervallo di concentrazione della combustione è ampio e quando la concentrazione è superiore allo 0,2% durante la combustione viene emessa una fiamma; Quando la concentrazione è inferiore allo 0,2%, viene eseguita la reazione di ossidazione per generare SiO2 bianco. Combustione esplosiva nel gas di cloro. Reagisce in modo esplosivo con i gas alogeni, ma se a basse temperature, esegue l'alogenazione moderatamente. Se entra in contatto con SF6 esplode. Reazione intensa con tetracloruro di carbonio e cloroformio. Reagiscono e si decompongono con metalli alcalini e leghe di mercurio per produrre silano e idrogeno. Reagire con potassio caustico per liberare H2. Non reagisce con acqua pura e acidi, ma reagisce con gli alcali per produrre silicati e idrogeno. Anche la presenza di tracce di alcali disciolti nel vetro può causare l'idrolisi dell'etano. In presenza di impurità KH o LiCl, si decompone lentamente a temperatura ambiente.
Si2H6- → SiH4+(SiH2)x
L'etilsilano è solubile in disolfuro di carbonio, alcol etilico, benzene e acido etilsilicico. Corrode la gomma, il burro, i lubrificanti, il piombo, ecc., ma non corrode la maggior parte dei metalli.
Usi principali
1. Utilizzato in celle solari, tubi rotanti fotosensibili, pellicole di silicio amorfo, crescita epitassiale, pellicole di ossido, pellicole di nitruro, deposizione di vapori chimici e altri campi. Nella produzione di celle solari, la velocità di deposizione dell'etilene silano sui wafer di silicio amorfo è molto più veloce di quella del silano e la temperatura può essere ridotta di 200-300 ℃. Nell'impianto ionico, l'uso dell'etano come sorgente ionica ha maggiori probabilità di brillare e ha una corrente del fascio più forte, con conseguenti risultati significativamente migliori rispetto all'utilizzo di altri gas come sorgenti ioniche.
2. Nella tecnologia dei semiconduttori viene utilizzato per processi epitassiali e di diffusione, nonché per tamburi fotosensibili utilizzati nelle celle solari e nella fotografia elettronica.
